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CIF等離子去膠機采用優(yōu)良的電感耦合等離子體（ICP）技術(shù)，實現(xiàn)各向同性的均勻激發(fā)，可溫和且高效地處理各類基材及復雜三維結(jié)構(gòu)。設(shè)備外觀簡約緊湊，內(nèi)部腔體經(jīng)優(yōu)化設(shè)計，在提升單次處理通量的同時，確保了工藝穩(wěn)定性與廣泛的應(yīng)用兼容性。其操作直觀簡便，維護容易，在保證高性能的基礎(chǔ)上實現(xiàn)了更優(yōu)的性價比與更低的長期使用成本，特別適合大學、科研院所及微電子與半導體企業(yè)的實驗室使用。
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